Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок

Демиденко, Максим Геннадійович; Проценко, Сергій Іванович; Тищенко, Костянтин Володимирович; Федченко, Олена Вікторівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок
Authors	Demydenko, Maksym Hennadiiovych Protsenko, Serhii Ivanovych Tyshchenko, Kostiantyn Volodymyrovych Fedchenko, Olena Viktorivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-8070-1610
Keywords	нуль-еліпсометрія рентгенівська рефлектометрія оптичні коефіцієнти співвідно- шення Френеля генетичні алгоритми
Type	Article
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012)
Abstract	Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження опти- чних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показа- но, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних роз- рахункових теоретичних моделей. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)