Математическая модель процесса ионной имплантации

Соколов, Сергей Викторович; Щекотова, И.В.; Доброжан, А.А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Математическая модель процесса ионной имплантации
Authors	Sokolov, Serhii Viktorovych Щекотова, И.В. Доброжан, А.А.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-8707-4616
Keywords	обробка матеріалів іонна імплантація обработка материалов ионная имплантация
Type	Conference Papers
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Соколов, C.B. Математическая модель процесса ионной имплантации [Текст] / C.B. Соколов, И.В. Щекотова, А.А. Доброжан // Сучасні інформаційні системи і технології : матеріали Першої міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 15-18 травня 2012 р. / Ред.кол.: А.С. Довбиш, О.А. Борисенко, І.В. Баранова. — Суми : СумДУ, 2012. — С. 27-28.
Abstract	Одним из современных методов поверхностной обработки материалов высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности кристалла, а также от температуры в процессе имплантации При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)