Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/41502
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Влияние потенциала смещения на фазовый состав, структуру, субструктуру и механические характеристики многослойной системы TiN/ZrN, полученной вакуумно- дуговым испарением
Other Titles The Influence of the Bias Potential on the Phase Composition, Structure, Substructure and Mechanical Properties of Multilayer TiN / ZrN System Obtained by Vacuum Arc Evaporation
Вплив потенціалу зміщення на фазовий склад, структуру, субструктуру і механічні характеристики багатошарової системи TiN / ZrN, отриманої вакуумно-дуговим випаровуванням
Authors Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
ORCID
Keywords Вакуумно-дуговой метод
Давление
Потенциал смещения
ZrN
TiN
Текстура
Субструктура
Микродеформация
Размер кристаллитов
Твердость
Модуль упругости
Вакуумно-дугового метод
Тиск
Потенціал зсуву
ZrN
TiN
Текстура
Субструктура
Мікродеформація
Розмір кристалітів
Твердість
Модуль пружності
Vacuum-arc method
Pressure
Bias potential
ZrN
TiN
Texture
Substructure
Microdeformation
Crystallite size
Hardness
Modulus of elasticity
Type Article
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/41502
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 2, 02035 (2015)
Abstract Вивчено вплив постійного та імпульсного негативного потенціалів зсуву, що подаються на підкладку в процесі осадження на фазовий склад, структуру, субструктуру і механічні характеристики багатошарових покриттів ZrN/TiN з товщиною бішару 50-200 нм. Встановлена двофазність одержуваного покриття з ZrN і TiN фаз з ГЦК решіткою структурного типу NaCl, без істотного перемішування і втрати планарності шарів. Використання високовольтних імпульсів дозволяє в значній мірі змінювати структуру і властивості при Ub < 100 В. При більшому значенні Ub, постійний потенціал стає визначальним для структурної інженерії покриття. Показано, що найбільша твердість притаманна покриттям отриманим при Ub = – 140...– 150 В, при цьому H/E досягає великої величини 0,14, що складно отримати в одношарових покриттях.
Изучено влияние постоянного и импульсного отрицательного потенциалов смещения, подаваемых на подложку в процессе осаждения на фазовый состав, структуру, субструктуру и механические характеристики многослойных покрытий ZrN / TiN с толщиной бислоя 50-200 нм. Установлена двухфазность получаемого покрытия из ZrN и TiN фаз с ГЦК решеткой структурного типа NaCl, без существенного перемешивания и потери планарности слоев. Использование высоковольтных импульсов позволяет в значительной степени изменять структуру и свойства при Ub < 100 В. При большем значении Ub, постоянный потенциал становится определяющим для структурной инженерии покрытия. Показано, что наибольшая твердость присуща покрытиям полученным при Ub = – 140…– 150 В, при этом H / E достигает большой величины 0,14, что сложно получить в однослойных покрытиях.
Influence of constant and pulsed negative bias potential applied to the substrate during the deposition on the phase composition, structure, substructure and mechanical properties of multilayer ZrN / TiN coatings with a bilayer thickness of 50-200 nm was studied. Two-phase coating obtained from ZrN and TiN phases of the fcc structure of NaCl type without a significant loss of planarity and mixing layers is established. The use of high-voltage pulses would greatly change the structure and properties at Ub <> 100 V. At larger value of Ub, constant potential becomes crucial for the structural engineering of the coating. It is shown that the greatest hardness is inherent to the coatings obtained by Ub = – 140...– 150 V, and H/E reaches a large value of 0.14, which is difficult to obtain in the single-layer coatings.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
Czechia Czechia
1
France France
3
Germany Germany
9216
Greece Greece
4608
Ireland Ireland
50258
Italy Italy
1
Japan Japan
6
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
4
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
1431507
United Kingdom United Kingdom
773970
United States United States
19098462
Unknown Country Unknown Country
1431506

Downloads

China China
7
France France
2
Germany Germany
2
Ireland Ireland
1
Lithuania Lithuania
1
Poland Poland
1
Russia Russia
423
Ukraine Ukraine
4294125
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
19098464
Unknown Country Unknown Country
4
Uzbekistan Uzbekistan
2

Files

File Size Format Downloads
Sobol.pdf 470,51 kB Adobe PDF 23393033

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.