Структурні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом спрей-піролізу

Доброжан, Олександр Анатолійович; Опанасюк, Надія Миколаївна; Авраменко, О.С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43960

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структурні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом спрей-піролізу
Authors	Dobrozhan, Oleksandr Anatoliiovych Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Авраменко, О.С.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-9238-7596
Keywords	тонкі плівки тонкие пленки thin films спрей-піроліз спрей-пиролиз spray pyrolysis
Type	Conference Papers
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43960
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Доброжан, О.А. Структурні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом спрей-піролізу [Текст] / О.А. Доброжан, О.С. Авраменко, М.Н. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2013. - С. 110.
Abstract	Тонкі плівки оксиду цинку в наш час отримують такими методами як магнетронне розпилення, хімічне осадження з газової пари, зольгель технологія, спрей-піроліз та ін. Завдяки використанню нескладного технічного обладнання, простоті керування процесом осадження, можливості нанесення плівок великої площі на довільні підкладки найбільш перспективним серед них є метод спрей-піролізу. Мета роботи полягала в виборі вихідних хімічних компонентів для осадження плівок ZnO методом спрей-піролізу, дослідженні структурних властивостей нанесених шарів.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)