Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64129
Title: Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук CU2(M11)(M1V)(S,SE)4 (M1: MN, FE, CO, NI, ZN, CD, HG; M1V: SI, GE,SN) методом пульсуючого спрей-піролізу
Authors: Dobrozhan, Oleksandr Anatoliiovych 
Opanasiuk, Anatolii Serhiiovych 
Kurbatov, Denys Ihorovych 
Keywords: полікристалічні плівки
поликристаллические пленки
polycrystalline film
багатокомпонентні сполуки
многокомпонентные соединения
multicomponent compounds
спрей-піроліз
спрей-пиролиз
spray pyrolysis
Issue Year: 2017
Publisher: Державна служба інтелектуальної власності України
Citation: Пат.115891 U Україна, МПК (2006), H01L 33/00, C23C 14/00. Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук CU2(M11)(M1V)(S,SE)4 (M1: MN, FE, CO, NI, ZN, CD, HG; M1V: SI, GE,SN) методом пульсуючого спрей-піроліз / О.А. Доброжан, А.С. Опанасюк, Д.І. Курбатов (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u201612667; заявл. 12.12.2016; опубл. 25.04.2017, бюл. № 8.
Abstract: Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук Cu2(MII)(MIV)(S, Se)4 (МII: Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cd, Hg; MIV: Si, Ge, Sn) методом пульсуючого спрей-піролізу, що включає розпилення початкового прекурсору, який містить розчин хлоридів (MIuvmCln) або ацетатів (MII,IVrn(CH2COOH)n) металів та тіомочевини (SC(NH2)2) на поверхню нагрітої підкладки з наступним формуванням відповідної плівки, який відрізняється тим, що розпилення прекурсору здійснюють на нагріту до температури 673-683 К підкладку в інертній атмосфері, утвореній в частково герметизованій металевій робочій камері, яку продувають інертним газом з робочим тиском більшим за атмосферний, причому після формування плівки проводять селенізацію шляхом відпалу в парі селену в одному робочому циклі.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64129
Type: Patent
Appears in Collections:Патенти

Views
Other26
Germany2
Ukraine2
United States1
Downloads
Other14
Germany2
Ukraine2


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Dobrozhan_nanesennia.pdf274.24 kBAdobe PDF18Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.