Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71641
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO–SnO2
Other Titles Study of ZnO–SnO2 Thin Film Growth Processes
Authors Абдуев, А.Х.
Ахмедов, А.К.
Асваров, А.Ш.
ORCID
Keywords оксид цинка
оксид олова
тонкая пленка
магнетронное распыление
стехиометрия
ZnO
SnO2
thin film
magnetron sputtering
stoichiometry
Type Article
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71641
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation Абдуев, А.Х. Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO-SnO[2] / А.Х. Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 6. - 06020. - DOI: 10.21272/jnep.10(6).06020
Abstract Исследованы процессы синтеза слоев на основе твердых растворов ZnO–SnO2 при магнетронном распылении металлической мишени Zn–Sn, керамической мишени ZnO–SnO2 и металлокерамической мишени (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn). Показано, что магнетронное распыление мишеней Zn–Sn и (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn) может сопровождаться формированием периодических структур в результате периодического изменения состава поверхностных слоев распыляемой мишени в зоне эрозии мишеней.
The processes of magnetron synthesis of ZnO–SnO2-based films by the magnetron sputtering of metal (Zn–Sn), ceramic (ZnO–SnO2) and composite (ZnO–SnO2 + 10wt.% Zn–Sn) targets were studied. It is shown that during magnetron sputtering of the metal and composite targets a multy-layered structure can be formed due to periodic changes in the composition of the sputtered target surface in the erosion zone.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

China China
17450590
France France
1
Germany Germany
35832
Greece Greece
1
Ireland Ireland
5024
Kazakhstan Kazakhstan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
187
Russia Russia
94
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
380752
United Kingdom United Kingdom
190565
United States United States
43073269
Unknown Country Unknown Country
380751

Downloads

Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
1106410
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
43073269
Unknown Country Unknown Country
8

Files

File Size Format Downloads
Abduev_2018_jnep_06020.pdf 400,56 kB Adobe PDF 44179690

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.