Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/72864
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Structure and Physicomechanical Properties of Superhard Multicomponent Multilayer (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) Coatings with Double Modulation Period of the Structure
Other Titles Структура та фізико-механічні властивості надтвердих багатошарових покриттів (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) з подвійним періодом модуляції структури
Authors Novikov, V.Yu.
Beresnev, V.М.
Kolesnikov, D.A.
Ivanov, О.N.
Lytovchenko, S.V.
Glukhov, О.V.
Gorokh, D.V.
Kozachenko, A.O.
Krytsyna, E.V.
Sirota, V.V.
ORCID
Keywords багатошарові покриття
період модуляції структури
мікротвердість
адгезійна міцність
фазовий і елементний склад
multilayer coatings
structure modulation period
microhardness
adhesive strength
phase and elemental composition
Type Article
Date of Issue 2019
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/72864
Publisher Sumy State University
License
Citation Structure and Physicomechanical Properties of Superhard Multicomponent Multilayer (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) Coatings with Double Modulation Period of the Structure [Текст] / V.Yu. Novikov, V. М. Beresnev, D. A. Kolesnikov [et al.] // Журнал нано- та електронної фізики. - 2019. - Т. 11, № 2. - 02027. - DOI: 10.21272/jnep.11(2).02027
Abstract У роботі описується отримання, встановлення механізмів та закономірностей формування фазового складу, структури багатошарових покриттів системи (TiAlСrY)N/ZrN з одинарним і системи (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrY)N/ZrN з подвійним періодом модуляції методом вакуумно-дугового осадження. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Покриття обох систем відрізняються високим ступенем ламінарності шарів. Покриття системи (TiAlСrY)N/ZrN мають виражену шарувату періодичну структуру всього обсягу покриття. Період модуляції (сумарна товщина бішару) такої структури становить близько 30 нм. У покриттях системи (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) чітко проглядається два періоди модуляції. Один період приблизно збігається з періодом модуляції зразків системи (TiAlСrY/Zr) N і становить близько 30 нм. Другий період модуляції становить приблизно 1.3 мкм. У нього входить 48 бішарів. Досліджено вплив парціального тиску азоту в камері на вміст азоту в покриттях, їх твердість і адгезійну міцність. Виявлено значне збільшення твердості 68.22 ГПа і адгезійної міцності покриттів з подвійним періодом модуляції структури. Запропоновано принципово новий технологічний підхід до процесу отримання багатошарових покриттів.
The paper describes the acquisition, establishment of mechanisms and patterns of formation of the phase composition and structure of multilayer coatings of the (TiAlСrY)N/ZrN system with a single and of the (TiAlCrY/Zr)/(TiAlСrY)N/ZrN systems with a double modulation period by vacuum-arc deposition. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the substrates were placed. The rotation of the axis with the substrates was carried out either continuously or with a fixed delay at the evaporators. The coatings of both systems are distinguished by a high degree of laminarity of the layers. The (TiAlСrY)N/ZrN system coatings have a pronounced layered periodic structure in the entire coating volume. The modulation period (total thickness of the bilayer) of such a structure is about 30 nm. Two modulation periods are clearly visible in the (TiAlCrY/Zr)/(TiAlCrYN/ZrN) system coatings. One period approximately coincides with the modulation period of the samples of the (TiAlCrY/Zr)N system and is about 30 nm. The second modulation period is about 1.3 microns. It includes 48 bilayers. The influence of the partial pressure of nitrogen in the chamber on the nitrogen content in the coatings, their hardness and adhesive strength were studied. A significant increase in the hardness of 68.22 GPa and the adhesion strength of the coatings with a double modulation period of the structure was revealed. A fundamentally new technological approach to the process of obtaining multilayer coatings has been proposed.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Germany Germany
1
Ireland Ireland
4945
Lithuania Lithuania
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
48671
United Kingdom United Kingdom
16381
United States United States
48670
Unknown Country Unknown Country
48669
Vietnam Vietnam
927

Downloads

Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
168267
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
168268
Unknown Country Unknown Country
5
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Novikov_jnep_2_2019.pdf 700,23 kB Adobe PDF 336543

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.