Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Title: Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов
Authors: Возный, В.И.
Keywords: іонний пучок
плазма
густина струму
ионный пучок
плазма
плотность тока
ion beam
plasma
current density
Issue Year: 2010
Publisher: Изд-во СумГУ
Citation: Возный, В.И. Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов [Текст] / В.И. Возный // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т. 2, № 2. — С.25-34.
Abstract: Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Type: Article
Appears in Collections:Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views
Other60
Azerbaijan1
Canada1
China3
Germany4
France1
United Kingdom1
Iran1
Italy1
Mexico1
Netherlands3
Russia24
Turkey3
Ukraine21
United States34
Downloads
Other299
China7
Germany2
Iran1
Russia6
Ukraine3
United States1


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Voznyi.pdf234.54 kBAdobe PDF319Download
Show full item record Recommend this item


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.