Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов

Возный, В.И.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов
Authors	Возный, В.И.
ORCID
Keywords	іонний пучок плазма густина струму ионный пучок плазма плотность тока ion beam plasma current density
Type	Article
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Publisher	Изд-во СумГУ
License
Citation	Возный, В.И. Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов [Текст] / В.И. Возный // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т. 2, № 2. — С.25-34.
Abstract	Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)