Showing results 1 to 4 of 4
| Issue Year | Title | Author(s) | Type | Views | Downloads |
|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. | Conference Papers | -474491707 | -1806568220 |
| 2014 | Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. | Article | -1549663412 | -899217481 |
| 2015 | Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок | Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Малахов, В.Я.; Томіла, Т.В. | Article | 262973263 | 146725548 |
| 2014 | Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок | Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Томіла, Т.В. | Article | 9359798 | 11266850 |