English українська
  1. SumDU Repository

Browsing by Keywords PECVD


Showing results 1 to 9 of 9
Issue Year Title Author(s) Type Views Downloads
2013 Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. Conference Papers 1910237831 578161319
2014 Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. Article -1891152176 -1411665486
2013 Field Emission Behaviour of the Single Wall Carbon Nanotubes Grown by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) System Kumar, Avshish; Parveen, Shama; Husain, Samina; Ali, Javid; Harsh, ; Husain, M. Article 1427234011 1442009621
2015 Hard Si-C-N Chemical Vapor Deposited Films Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I.; Dub, S.M.; Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Conference Papers 1956050342 1957387116
2018 Performance of p-i-n Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells Device Yanuar, H.; Lazuardi, U. Article 28513528 25101647
2013 Strong Room-Temperature Photoluminescence of Si-rich and N-rich Silicon-Nitride Films Komarovy, F.F.; Vlasukova, L.A.; Parkhomenko, I.N.; Milchanin, O.V.; Mudryi, A.V.; Togambayeva, A.K.; Kovalchuk, N.S. Conference Papers 74499425 80247973
2015 Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Малахов, В.Я.; Томіла, Т.В. Article 131486636 146725548
2014 Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Томіла, Т.В. Article 9359798 11266850
2017 Фотолюмінісцентні властивості PECVD плівок на основі Si, C, N Порада, О.К.; Манжара, В.С.; Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Іващенко, Л.A. Article 36415526 49401051