Геометрические эффекты в процессе плазменного напыления на поверхности

Долгов, А.С.; Лорент, А.Л.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10600

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Геометрические эффекты в процессе плазменного напыления на поверхности
Authors	Долгов, А.С. Лорент, А.Л.
ORCID
Keywords	отрицательная кривизна від’ємна кривина negative curvature осаждение осадження sedimentation область ориентации область орієнтації targeted area расхождение потока розбіжність потоку gap flux
Type	Article
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10600
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Долгов, А.С. Геометрические эффекты в процессе плазменного напыления на поверхности [Текст] / А.С. Долгов, А.Л. Лорент // Журнал нано- та електронної фізики. — 2011. — Т.3, №2. — С.59-69.
Abstract	Розглядається вплив широко розповсюджених геометричних особливостей деталі та потоку часток на ефективність осадження та надаються відповідні рекомендації. На засаді прийнятої апроксимованої схеми із від’ємною кривиною визначено вираз, який описує осадження на одиницю поверхні при постійній частоті обертання елемента поверхні. Приведено деякі значення осадження для різноманітних варіантів кривини. Розглянуто значення розбіжності потоку часток, яка притаманна загальній картині осадження, у якості фактора, що компенсує неоднорідність осадження на ділянці від’ємної кривини. Виявлено, що сильна залежність вірогідності осадження від кута бомбардування поверхні спричиняє зниження загального рівня осадження для різних, майже протилежних форм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10600
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)