Влияние концентрации водорода в магнетронной камере на гидрирование кремниевой аморфной пленки

Мазинов, А.С.; Лисовец, Е.В.; Каравайников, А.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10812

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияние концентрации водорода в магнетронной камере на гидрирование кремниевой аморфной пленки
Authors	Мазинов, А.С. Лисовец, Е.В. Каравайников, А.В.
ORCID
Keywords
Type	Article
Date of Issue	2004
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10812
Publisher	Изд-во СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Мазинов, А.С. Влияние концентрации водорода в магнетронной камере на гидрирование кремниевой аморфной пленки [Текст] / А.С. Мазинов, Е.В. Лисовец, А.В. Каравайников // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2004. — № 10(69) — С. 101-106.
Abstract	Influencing of concentration of hydrogen is explored in a gas mixture on electric and optical properties of the tapes of hydrogenated amorphous silicon, got in a magnetron chamber at the area of structures to 30 sm2. The films a-Si:H, which were besieged at the maximal concentration of hydrogen in the chamber, had increase of values of optical width of the forbidden zone (Eg) and energy of activation (Ea) till 1.75 эВ and 0.25 эВ, accordingly. The width of a spectrum has increased, and the coefficient of absorption has decreased. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10812
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)