Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів

Abstract

Винахід належить до способів одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів з використанням вакуумного розпилення матеріалу. Мішень, виготовлену із матеріалу, що осаджується, розпилюють в області схрещених електричних і магнітних полів. Далі розпилені атоми іонізують і під дією оберненої дифузії та оберненого розсіювання повертають на мішень, та осаджують на підкладку, що кріпиться у центральній частині мішені та охолоджується водою. Енергії частинок усереднюють та знижують до рівня, що не перевищує граничну енергію розпилення кристалічного сконденсованого матеріалу за рахунок багаторазових зіткнень атомів розпиленої речовини з атомами робочого газу, та їх зіткнень між собою, при русі від мішені до підкладки. На ростову поверхню діють як іони розпиленої речовини, так і іони робочого газу та нейтральні атоми, це призводить до того, що ті адатоми, які не встановили з ростовою поверхнею достатньо міцних хімічних зв'язків, будуть повторно випаровуватися та розпилюватись. Спосіб дозволяє отримувати надпоруваті шари будь-яких провідникових матеріалів, при підвищених швидкостях нарощування шару, і дає можливість контролювати на мікрорівні процес конденсації та отримувати шари з різною "архітектурою". При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11051

Изобретение относится к способам получения сверхпористых слоев электропроводных материалов с использованием вакуумного распыления материала. Мишень, изготовленную из материала, который осаждается распыляют в области скрещенных электрических и магнитных полей. Далее распыленные атомы ионизируют и под действием обратной диффузии и обратного рассеивания поворачивают на мишень, и осаждают на подкладку, которая крепится в центральной части мишени и охлаждается водой. Энергии частиц усредняют и снижают до уровня, который не превышает граничную энергию распыления кристаллически сконденсированного материала за счет многоразовых столкновений атомов распыленного вещества с атомами рабочего газа, и их столкновений между собой, при движении от мишени до подкладки. На наращенную поверхность действуют как ионы распыленного вещества, так и ионы рабочего газа и нейтральные атомы, это приводит к тому, что эти адатомы, которые не установили с наращенной поверхностью достаточно прочных химических связей, будут повторно испаряться и распылятся. Способ позволяет получать сверпористые слои любых проводниковых материалов, при повышенных скоростях наращивания слоя, и дает возможность контролировать на микроуровне процесс конденсации и получить слои с разной «архитектурой». При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11051

The invention relates to a method for obtaining of superporous layers of electroconductive materials using vacuum spraying of a material. A target made of material being precipitated is sprayed in the area of crossed electric and magnetic fields. The sprayed atoms are ionized and turned to the target under action of return diffusion and return dispersion, and precipitated on a substrate which is fastened in the central part of the target and cooled by water. Energy of particles are averaged and reduced to a level, which not exceeds the boundary energy of spraying of crystal condensed material due to non-expendable collisions of atoms of sprayed substance with atoms of operation gas and their collisions among themselves, at movement from the target up to the substrate. On extended surface both ions of sprayed substance, and ions of operation gas neutral atoms act, and it leads to that the adatoms not chemically bonded sufficiently with the extended surface, will be repeatedly evaporated and sprayed. A method allows obtaining of superporous layers of any conducting materials, at increased rates of growing of the layer, and enables to give control at microlevel process of condensation and obtain layers with different "architecture". When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11051