Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану

Соломаха, Володимир Анатолійович; Чорноус, Анатолій Миколайович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану
Authors	Solomakha, Volodymyr Anatoliiovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	електрофізичні властивості фазовий склад плівки титану электрофизические свойства фазовый состав пленки титана electrophysical properties phase composition titanium thin films
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Соломаха, В.А. Взаємозв’язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану [Текст] / В.А. Соломаха, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 58-65.
Abstract	У роботі досліджено фазовий склад, кристалічну структуру та електрофізичні властивості плівок титану після термообробки до 920 K. Показано, що на температурній залежності питомого опору мають місце особливості, пов`язані із процесами окислення у плівкових зразках, а температура окислення плівок є розмірно-залежною. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)