Об особенностях оптической юстировки фазового компенсатора эллипсометра

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12371

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Об особенностях оптической юстировки фазового компенсатора эллипсометра
Authors	Бобро, В.В. Семененко, А.И.
ORCID
Keywords
Type	Article
Date of Issue	1999
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12371
Publisher	Издательство СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Бобро, В.В. Об особенностях оптической юстировки фазового компенсатора эллипсометра [Текст] / В.В. Бобро, А.И. Семененко // Вісник Сумського державного університету. - 1999. - №2(13). - С. 32-35.
Abstract
Appears in Collections:	Вісник Сумського державного університету (1994-1999)