Топологія поверхні шарів Si та Cu, осаджених у накопичувальній іонно-плазмовій системі

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12701

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Топологія поверхні шарів Si та Cu, осаджених у накопичувальній іонно-плазмовій системі
Authors	Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Борисенко, Н.О.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12701
Publisher	Вид-во СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Борисенко, Н. О. Топологія поверхні шарів Si та Cu, осаджених у накопичувальній іонно-плазмовій системі [Текст] / Н. О. Борисенко, Ю. О. Космінська, Г. С. Корнющенко // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, Суми, 18-22 квітня 2011 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2011. — С. 59.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)