Отримання зносостійких покриттів методом іонно-плазмового осадження в установці УВНД 80-005

Шпетний, Ігор Олександрович; Рекун, М.Ю.; Кошатко, М.С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15205

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Отримання зносостійких покриттів методом іонно-плазмового осадження в установці УВНД 80-005
Authors	Shpetnyi, Ihor Oleksandrovych Рекун, М.Ю. Кошатко, М.С.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-6124-4696
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15205
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Шпетний, І.О. Отримання зносостійких покриттів методом іонно-плазмового осадження в установці УВНД 80-005 [Текст] / І.О. Шпетний, М.Ю. Рекун, М.С. Кошатко // Тези доповідей науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспіратнів та студентів фізико-технічного факультету : 19-26 квітня. - Суми : СумДУ, 2007. - С. 5-6.
Abstract	Метод іонно-плазмового осадження покриттів дозволяє отримати тонкоплівкові покриття товщиною від 1 до 200 мкм на основі нітридів, карбідів, карбонітридів, оксидів, що мають високу твердість, тепло- та зносостійкість. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15205
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)