Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15244

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки
Authors	Solomakha, Volodymyr Anatoliiovych
ORCID
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15244
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Соломаха, В.А. Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки [Текст] / В.А. Соломаха // Тези доповідей науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспіратнів та студентів фізико-технічного факультету : 19-26 квітня. - Суми : СумДУ, 2007. - C. 53-54.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)