Физические основы ближнеполевой СВЧ диагностики материалов и сред

Abstract

Ранние работы по исследованию возможности измерения полупроводниковых и диэлектрических материалов и структур с помощью электромагнитного поля свидетельствуют о значительной перспективности СВЧ методов неразрушающего контроля. Современные достижения физики и техники СВЧ позволяют создавать высокоэффективные методы и технические средства исследования естественных и искусственных объектов. Функциональные возможности СВЧ диагностики позволяют проводить исследования их физико-технических, физико-химических свойств. А в последнее время можно отметить увеличение вклада СВЧ диагностики в нанофизику и нанотехнологии. Сегодня известные методы СВЧ диагностики отличаются разнообразием подходов к решению теоретических задач, методик измерений и конструкций СВЧ ИП. По типу используемых в первичных измерительных преобразователях физических явлений СВЧ датчики можно разделить на волновые и резонаторные. Введя понятие метрологического взаимодействия, резонаторные измерительные преобразователи можно классифицировать на РИП с объемным, апертурным, поверхностным и микрозондовым ближнеполевым взаимодействием. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15834