Електрофізичні властивості дисперсних матеріалів на основі плівок V, Ti, Cr, Cu та Ni

Abstract

Особливі властивості нанокристалічних плівкових системи знайшли досить широке використання при виготовленні мікроелектронних приладів і сенсорів, елементів опто- і акустоелектроніки, пристроїв для запису інформації, у створенні надтвердих покриттів тощо. Наприклад, висока чутливість плівки діоксиду ванадію до фотонного і електронного опромінення та стійкість при плазмових і термічних обробках роблять її перспективним резистом для субмікронної літографії; відносно висока чутливість плівок TiO2 до деформацій знаходить своє місце в тензометрії; наявність фазового переходу ІІ роду типу “метал – напівпровідник” (діелектрик), що спостерігається у плівках VO2 може застосовуватись в датчиках критичної температури, як елементах захисту різних вузлів від нагрівання. Отже, характеристики і параметри мікроприладів певною мірою визначаються електрофізичними властивостями плівок, (питомий опір, термічний коефіцієнт опору, коефіцієнти тензочутливості) які, у свою чергу, пов’язані з дією розмірних ефектів, що проявляються як у структурно-фазових, так і в електрофізичних властивостях. Тому багатошарові плівкові системи на основі металів набули широкого використання як об’єкти дослідження розмірних ефектів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15835