Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску

Abstract

Сучасні тенденції розвитку мікро- і наноелектроніки, сенсорної техніки та ін. галузей приладобудування стимулюють пошуки нових матеріалів для створення елементної бази, які б мали більш широкий спектр функціональних можливостей та задовольняли вимоги матеріалознавців і конструкторів. Серед таких матеріалів можна виділити багатошарові плівкові структури загального типу та мультишари. Широке використання плівкових матеріалів як чутливих елементів різноманітних датчиків неелектричних вели- чин стимулює як фізико-технологічні, так і фундаментальні дослідження про- цесів, які дають можливість підвищити ефективність датчиків. У зв’язку з цим на даний час актуальним залишається вивчення електрофізичних (питомий опір, термічний коефіцієнт опору (ТКО), коефіцієнт тензочутливості (КТ)), ма- гніторезистивних (магнітоопір), оптичних та ін. властивостей тонкоплівкових матеріалів. Однак для покращання характеристик сенсорів, чутливими елементами яких є тонкоплівкові зразки, недостатньо тільки розуміти явища, які лежать в основі роботи приладу, наприклад, тензоефект або спін-залежне розсіювання електронів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15869