Тензорезисгивні властивості плівкових систем Cu/Cr і Fe/Cr в області пружної і пластитичної деформації

Abstract

Велика увага дослідників до плівкових матеріалів обумовлена їх унікальними механічними, електричними, оптичними та іншими властивостями, що дає можливість їх широкого використання як чутливих елементів різних сенсорів. Не зважаючи на тривалий час досліджень тензорезистивних властивостей різних матеріалів, ця проблема й досі залишається актуальною, хоча відносно тензочутливості в області пружної деформації (до 1 %) тонких дротів, одно- та багатошарових плівок, у тому числі і плівкових сплавів, накопичений значний теоретичний і експериментальний матеріал. Поряд із цим вивчення тензорезистивних, механічних та інших властивостей в області непружної деформації залишається актуальним і до теперішнього часу. Вузловими тут залишаються питання, пов’язані з впливом дисперсності плівки на механічні та електрофізичні властивості, роллю дифузійних процесів і фазоутворення у цих явищах. Також слід зазначити, що дослідження останніх років відображають тенденцію пошуку різних матеріалів із покращеними тензорезистивними характеристиками і, зокрема, з підвищеною термостійкістю, більшою величиною коефіцієнта тензочутливості (КТ) та більш широким інтервалом пружної деформації. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15871