Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов

Батурин, Владимир Андреевич; Еремин, С.А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов
Authors	Baturin, Volodymyr Andriiovych Еремин, С.А.
ORCID
Keywords
Type	Article
Date of Issue	2004
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591
Publisher	Издательство СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Батурин, В.А. Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 225-230.
Abstract	The technique of research of energy spectra of the secondary ion emission is offered. The scheme of experimental installation to carry out a research in a wide range of energies of a primary ions beam (20-150 keV) is described. The installation is mounted on base of a high dose ion implanter. For the analysis of secondary ions on weights and energy a monopole mass-spectrometer MX7304A, equipped with a small-sized energy filter, is used. The energy spectra of monoatomic and cluster ions of copper, and also singly and doubly-charged ions of aluminum are received. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)