Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів

Проценко, Іван Юхимович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Проценко, Сергій Іванович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1632

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів
Authors	Protsenko, Ivan Yukhymovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych Protsenko, Serhii Ivanovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445 http://orcid.org/0000-0002-8070-1610
Keywords	методи дослідження методы исследования
Type	Schoolbook
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1632
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Проценко, І.Ю. Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів [Текст] : навч. посіб. / І.Ю. Проценко, А.М. Чорноус, С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2007. - 264 с. + Гриф МОН
Abstract	У навчальному посібнику розглянуті питання будови та принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів, таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи, електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського аналізу, оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових матеріалів. Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом “Електронні пристрої та системи”. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1632
Appears in Collections:	Навчальні та наукові видання видавництва СумДУ