Оптика електронно-променевих приладів

Abstract

У навчальному посібнику розглянуті основні питання геометричної електронної оптики - рух параксіальних електронів в аксіально-симетричних електричному і магнітному полях, принцип дії електростатичних й електромагнітних електронних лінз й основні види їх аберацій. Приділена увага практичному розрахунку оптичних параметрів електронних лінз на конкретних прикладах. Подані різні типи електронно-оптичних відхиляючих систем, які використовуються в електронно-променевих приладах. Розглянуті різноманітні джерела електронів, у тому числі гармати з польовою емісією. Проаналізовані електронно-оптичні схеми формування електронних пучків у просвічуючих (ПЕМ) та растрових (РЕМ) електронних мікроскопах, включаючи сучасний РЕМ з автоемісійною гарматою та комбінованою магнітно-електростатичною об’єктивною лінзою. Визначені фактори, які впливають на контраст зображення та роздільну здатність у ПЕМ. Навчальний посібник призначений для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом «Електронні пристрої та системи», а також може бути корисним студентам і аспірантам як посібник при вивченні курсу електронної мікроскопії. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/17075