Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/17956

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии
Authors	Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Редько, О.Н.
ORCID
Keywords	тонкі плівки тонкие пленки thin films
Type	Conference Papers
Date of Issue	2005
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/17956
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Редько, О.Н. Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии [Текст] / О.Н. Редько, Н.Н. Опанасюк // Тези науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : 18-29 квітня 2005 р. / Ред. кол.: Г.С. Воробйов, А.І. Новгородцев, О.В. Кобзарь. — Суми : СумДУ, 2005. — С. 141.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)