Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe

Пазуха, Ірина Михайлівна; Проценко, Іван Юхимович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe
Authors	Pazukha, Iryna Mykhailivna Protsenko, Ivan Yukhymovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-9410-3024 http://orcid.org/0000-0003-3351-9303
Keywords	датчик тиску датчик давления pressductor багатошарова плівкова система многослойная пленочная система multi-layered pellicle system аналіз процесів дифузії анализ процессов диффузии analysis of processes of diffusion
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Пазуха, І. М. Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe [Текст] / І. М. Пазуха, І. Ю. Проценко // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 111-117.
Abstract	Запропонований чутливий елемент датчика тиску, який формується на основі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Наведені результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії і фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)