Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом

Степаненко, Андрій Олександрович; Дехтярук, Леонід Васильович; Чорноус, Анатолій Миколайович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1802

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом
Authors	Stepanenko, Andrii Oleksandrovych Dehtiaruk, Leonid Vasylovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0105-0440 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	вплив температурної обробки влияние температурной обработки influence of temperature treatment багатошарові плівкові системи многослойные пленочные системы multi-layered pellicle systems магнетронний метод метод магнетрона method of magnetron
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1802
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Степаненко, А.О. Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом [Текст] / А.О. Степаненко, Л.В. Дехтярук, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 124-128.
Abstract
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)