Розрахунок параметрів легованих областей та режимів термічної дифузії у напівпровідникових структурах

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/18740

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Розрахунок параметрів легованих областей та режимів термічної дифузії у напівпровідникових структурах
Authors	Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Kurbatov, Denys Ihorovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2754-6367
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2006
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/18740
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Опанасюк, Н.М. Розрахунок параметрів легованих областей та режимів термічної дифузії у напівпровідникових структурах [Текст] / Н.М. Опанасюк, Д.І. Курбатов // Тези науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету, присвяченої Дню науки в Україні : 20-29 квітня. - Суми : СумДУ, 2006. - Ч.1. - С. 43-44.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)