Електрофізичні властивості плівкових матеріалів мікроелектроніки

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/21000

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Електрофізичні властивості плівкових матеріалів мікроелектроніки
Authors	Hovorun, Tetiana Pavlivna Lobodiuk, Olena Serhiivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-9384-5250
Keywords	плівкові матеріали пленочные материалы film materials
Type	Article
Date of Issue	2009
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/21000
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Говорун, Т.П. Електрофізичні властивості плівкових матеріалів мікроелектроніки [Текст] / Т.П. Говорун, О.С. Лободюк // Досягнення сучасної електроніки і методика викладання її у вищій школі : тези доповідей міжкафедрального науково-методичного семінару до 100-річчя з дня народження професора Л.С.Палатника, 19 травня 2009 року / Конотопський ін-т СумДУ; Відп. за вип. Т.М. Гричановська. — Суми : СумДУ, 2009. — С. 14-17.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (КІ)