Структура і фізико-механічні властивості нк-TiN покриттів отриманих вакуумно-дуговим осадженням та осадження з ВЧ розрядом

Погребняк, Олександр Дмитрович; Махмуд, А.М.; Караша, І.Т.; Кірік, Г.В.; Ткаченко, Р.Ю.; Шипиленко, Андрій Павлович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/23734

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура і фізико-механічні властивості нк-TiN покриттів отриманих вакуумно-дуговим осадженням та осадження з ВЧ розрядом
Authors	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Махмуд, А.М. Караша, І.Т. Кірік, Г.В. Ткаченко, Р.Ю. Shypylenko, Andrii Pavlovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-9218-6492 http://orcid.org/0000-0002-1741-2525
Keywords	нк – TiN нанотвердість модуль пружності адгезійні
Type	Article
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/23734
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	А.Д. Погребняк, А.М. Махмуд, І.Т. Караша, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 3 №4, 97 (2011)
Abstract	За допомогою растрово-електронної мікроскопії (РЕМ), рентген-структурного аналізу (РСА), адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу і були вивчені властивості покриттів нк – TiN. У залежності від потенціалу зміщення, що подається на підкладку і тиску в камері, включення ВЧ розряду, показано, що сукупність різних параметрів реєструються в процесі дряпання, дозволяє розрізняти порогові значення критичного навантаження, прив'язані до різних типів когезійного та адгезійного руйнування покриттів при трибологічних випробуваннях. Були визначені розміри нанозерн нк – TiN стехіометрія покриттів, а також фазовий елементний склади і морфологія поверхні покриттів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/23734
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)