Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям

Говорун, Тетяна Павлівна; Проценко, Сергій Іванович; Шпетний, Ігор Олександрович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Салтикова, А.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2378

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям
Authors	Hovorun, Tetiana Pavlivna Protsenko, Serhii Ivanovych Shpetnyi, Ihor Oleksandrovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych Салтикова, А.І.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-9384-5250 http://orcid.org/0000-0002-8070-1610 http://orcid.org/0000-0002-6124-4696 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	плівки пленки film
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2378
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям [Текст] / Т.П. Говорун, С.І. Проценко, І.О. Шпетний та ін. // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 66-81.
Abstract	У роботі проведене комплексне дослідження дифузійних процесів, фазового складу і кристалічно структури плівок Cu і Co з тонким покриттям із Ni або SiO[2] та плівок Ni з тонким покриттям Cu або SiO[2]. Показано, що наявність покриття з металів і діоксиду кремнію не впливає на фазовий склад базисної плівки, хоча мають місце процеси взаємної дифузії атомів плівки і покриття. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2378
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)