Моделювання спектрів RBS від багатокомпонентних плівкових структур з використанням сучасних програмних комплексів

Abstract

В даній роботі проводилось моделювання спектрів резерфордівського зворотнього розсіювання з використанням програми SIMNRA 6.0. Оскільки сам процес розсіювання потребує велику кількість грошей і часу, то моделювання методу являється кращим варіантом. Моделювання показало, що оптимальними умовами проведення експерименту є використання іонів гелію з енергією Е = 4 МеВ та товщини мішені – Ag(350 нм)/ZnMnS(1000 нм)/ситал(≥20000 нм). При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/24797

В данной работе проводилось моделирование спектров резерфордовського обратного рассеяния с использованием программы SIMNRA 6.0. Поскольку сам процесс рассеивания требует много денег и времени, моделирование метода является лучшим вариантом. Моделирование показало, что оптимальными условиями проведения эксперимента является использование ионов гелия с энергией Е = 4 МэВ и толщины мишени - Ag (350 нм) / ZnMnS (1000 нм) / ситал (≥ 20000 нм). При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/24797

Rutherford back-scattering In the present work was carried out simulation of Rutherford backscattering spectra using the program SIMNRA 6.0. Since the process of diffusion requires a lot of money and time, the simulation method is the best option. The simulation showed that the optimum conditions of the experiment is the use of helium ions with energy E = 4 MeV and target thickness - Ag (350 nm) / ZnMnS (1000 nm) / Sital (≥ 20 000 nm). When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/24797