Влияние параметров ВЧ – разряда на сверхтвердость, стехиометрию наноструктурных покрытий Zr-Ti-Si-N

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/26553

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияние параметров ВЧ – разряда на сверхтвердость, стехиометрию наноструктурных покрытий Zr-Ti-Si-N
Authors	Ткаченко, Роман Юрійович Ткаченко, Роман Юрьевич Tkachenko, Roman Yuriiovych
ORCID
Keywords	ВЧ-разряд ВЧ-розряд RF discharge стехиометрия стехіометрія stoichiometry
Type	Competitive_scientific_work
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/26553
Publisher
License
Citation
Abstract
Appears in Collections:	Наукові роботи студентів, магістрів, аспірантів (ЕлІТ)