Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27658

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження
Authors	Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Kurbatov, Denys Ihorovych Бересток, Т.О.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2754-6367
Keywords	хімічне осадження химическое осаждение chemical vapor deposition плівки пленки films
Type	Conference Papers
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27658
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Бересток, Т.О. Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження [Текст] / Т.О. Бересток, Н.М. Опанасюк, Д.І. Курбатов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 16-21 квітня 2012 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2012. - С. 94.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)