Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления

Косминская, Юлия Александровна; Перекрестов, Вячеслав Иванович; Корнющенко, Анна Сергеевна; Панасенко, Е.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27660

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления
Authors	Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Korniushchenko, Hanna Serhiivna Панасенко, Е.В.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2175-9206 http://orcid.org/0000-0002-2996-1003
Keywords	магнетронное распыление магнетронне розпилення magnetron sputtering сверхтонкие металлические пленки надтонкі металеві плівки ultrathin metallic films
Type	Conference Papers
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27660
Publisher	Издательство СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления [Текст] / Е.В. Панасенко, Ю.А. Косминская, В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 16-21 квітня 2012 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2012. - С. 89.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)