Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов

Возный, В.И.; Сторижко, В.Е.; Мирошниченко, В.И.; Шульга, Д.П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов
Authors	Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Шульга, Д.П.
ORCID
Keywords	ВЧ источник ионов ионный пучок плазма плотность тока
Type	Article
Date of Issue	2012
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, Д.П. Шульга, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03019 (2012)
Abstract	Исследовался высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. Используя глобальную модель аргонового разряда, рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см2, что хорошо согласуется с экспериментально измеренной величиной 43 мА/см2. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)