Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальными источниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента)

Пономарева, Анна Александровна; Воробьев, Геннадий Савельевич; Магилин, Д.В.; Пономарев, Александр Георгиевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальными источниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента)
Other Titles	Формування прецизійного пучка протонів у зондовій системі з індивідуальними джерелами живлення магнітних квадрупольних лінз (результати експерименту) The Precision Proton Beam Formation in the Probe System with Individual Power Supplies of Magnetic Quadrupole Lenses (Experimental Results)
Authors	Ponomarova, Hanna Oleksandrivna Vorobiov, Hennadii Saveliiovych Магилин, Д.В. Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych
ORCID
Keywords	Магнитная квадрупольная линза Протонная пучковая литография Пучок протонов Ядерный сканирующий микрозонд Магнітна квадрупольна лінза Протонна пучкова літографія Пучок протонів Ядерний скануючий мікрозонд Magnetic quadrupole lense Proton beam writing Proton beam Nuclear scanning microprob
Type	Article
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	А.А. Пономарева, Д.В. Магилин, Г.С. Воробьев, А.Г. Пономарев, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 1, 01030 (2013)
Abstract	Обоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы – квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным «русским квадруплетом». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 Обґрунтовано необхідність розробки нових зондових систем формування пучків протонів МеВ-них енергій у літографічних технологіях високого розрізнення. Наведено опис експериментального пристрою ядерного скануючого мікрозонду й умов проведення експерименту при визначенні параметрів сформованого пучка: величина тока й розмірів зонда. Дані експерименту показали більш ніж трикратне збільшення щільності току в зонді для запропонованої системи – квадруплета магнітних квадрупольних лінз з індивідуальними джерелами живлення в порівнянні з конвенціальною системою, розділеним «російським квадруплетом». При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 Justified the search of new probe systems to forming MeV energy proton beams in high resolution lithographic techniques. To produce description of the nuclear scanning microprobe and experimental conditions to determine parameters of the generated beam: the current and the size of the probe. The processing of the experimental data showed, that more than triple of current density increase in the probe for the new probe system - quadruplet of magnetic quadrupole lenses with individual power supplies compared to the conventional system of distribution "Russian quartet". When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)