Фізичні властивості плівкових матеріалів мікро- і наноелектроніки

Пазуха, Ірина Михайлівна; Проценко, Іван Юхимович; Чешко, Ірина Володимирівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34097

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Фізичні властивості плівкових матеріалів мікро- і наноелектроніки
Authors	Pazukha, Iryna Mykhailivna Protsenko, Ivan Yukhymovych Cheshko, Iryna Volodymyrivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-9410-3024 http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-1585-6712
Keywords	плівкові матеріали пленочные материалы наноелектроніка наноэлектроника
Type	Schoolbook
Date of Issue	2014
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34097
Publisher	Вид-во СумДУ
License
Citation	Пазуха, І.М. Фізичні властивості плівкових матеріалів мікро- і наноелектроніки [Текст]: навч. посіб.: у 2-х ч. Ч.1 / І.М. Пазуха, І.Ю. Проценко, І.В. Чешко; За заг. ред. І.Ю. Проценка. - Суми: СумДУ, 2014. - 230 с.
Abstract	Посібник містить матеріал перекладу з англійської мови з коментарями та доповненнями вибраних розділів монографії «Розмірні ефекти в тонких плівках» відомих французьких вчених К. Тельє і А. Тоссе та додатки у вигляді перекладених українською мовою відомих праць із теми «Електрофізичні властивості тонких плівок». Навчальний посібник призначений для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання в галузі «Електроніка». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34097
Appears in Collections:	Навчальні та наукові видання видавництва СумДУ