Спосіб класифікаційного настроювання електронного мікроскопа за зображенням зразка, що досліджується

Abstract

Cпосіб класифікаційного настроювання електронного мікроскопа за зображенням зразка, що досліджується, належить до електронної мікроскопії і може використовуватись для самонастроювання електронного мікроскопа за зображенням досліджуваного об'єкта в таких областях науки, як біологія, геологія, фізика твердого тіла, матеріалознавство. Спосіб полягає в тому, що попередньо визначають для сфокусованого зображення нормоване поле допусків на параметр настроювання - струм управляючої обмотки фокусуючої лінзи, де нижній нормований допуск визначається шляхом зменшення номінального значення параметра настроювання, яке визначає сфокусоване зображення, на відносно малу величину, будують для сфокусованого зображення в радіальному базисі оптимальний в інформаційному розумінні контейнер, що розділяє сфокусоване та розфокусоване зображення, відображають радіус контейнера на шкалі виміру струму і приймають його за нижній нормований допуск. Аналогічно збільшують значення номінального струму фокусуючої лінзи, формують матрицю яскравості для поточного зображення і будують для нього оптимальний в інформаційному розумінні контейнер, який розділяє сфокусоване та розфокусоване зображення, відображають радіус контейнера на шкалі виміру струму і приймають його за верхній нормований допуск. При цьому на кожному кроці автофокусування порівнюють поточне значення параметра настроювання з нормованим полем допусків до тих пір, поки поточне значення параметра настроювання не попаде в нормоване поле допусків, що відповідає закінченню автонастроювання мікроскопа. Технічним результатом є підвищення швидкодії автофокусування електронного мікроскопа за рахунок зменшення тривалості коливального процесу екстремального настроювання. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34542

Способ классификационной настройки электронного микроскопа в соответствии с изображением исследуемого образца относится к электронной микроскопии и может использоваться для самонастройки электронного микроскопа по изображению исследуемого объекта в таких областях науки, как биология, геология, физика твердого тела, материаловедение. Способ заключается в том, что предварительно определяют для сфокусированного изображения нормированное поле допусков на параметр настройки – ток управляющей обмотки фокусирующей линзы, где нижний нормированный допуск определяется путем уменьшения номинального значения параметра настройки, которое определяет сфокусированное изображение, на относительно малую величину, строят для сфокусированного изображения в радиальном базисе оптимальный в информационном смысле контейнер, который разделяет сфокусированное и расфокусированное изображения, отражают радиус контейнера на шкале измерения тока и принимают его за нижний нормированный допуск. Аналогично увеличивают значение номинального тока фокусирующей линзы, формируют матрицу яркости текущего изображения и строят для него оптимальный в информационном смысле контейнер, который разделяет сфокусированное и расфокусированное изображения, отражают радиус контейнера на шкале измерения тока и принимают его за верхний нормированный допуск. При этом на каждом шаге автофокусировки сравнивают текущее значение параметра настройки с нормированным полем допусков до тех пор, пока текущее значение параметра настройки не попадет в нормированное поле допусков, что соответствует окончанию автонастройки микроскопа. Техническим результатом является повышение быстродействия автофокусировки электронного микроскопа за счет уменьшения продолжительности колебательного процесса экстремальной настройки. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34542

A method of microscope classification adjusting according to an image of a sample being tested relates to electronic microscopic investigation and can be used for electronic microscope self-adjustment by an image of a sample being tested in the following fields of science: biology, geology, solid state science, materials science. The method includes predetermination of a standardize tolerance zone for focused image per generic parameter - current of focusing lens control winding, where the lower standardize tolerance is determined by reducing generic parameter rated value which characterizes focused image by relative small quantity, in a radial basis for focused image an optimal container is built, which separates focused and defocused images, the container radius is represented on a current measuring scale and took up as the lower standardize tolerance. Similarly, focusing lens rated current is increased; a current image brightness matrix is shaped; a container being optimal in the information viewpoint is built; it separates focused and defocused images; the container radius is represented on current measuring scale and took up as the upper standardize tolerance. For the purpose in each step of autofocusing a current value of generic parameter and standardize tolerance zone is compared as long as generic parameter value will be in the limits of standardize tolerance zone that means finishing of electronic microscope automatic focusing. The technical result is electronic microscope autofocusing rate increase due to reducing duration of oscillation process of optimal adjustment. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34542