Структура, фазовий склад та механічні властивості покриттів на основі системи титан-вуглець

Abstract

Дисертаційна робота присвячена вивченню загальних закономірностей та систематизації інформації про структуру, фазовий склад, фізико-механічні характеристики покриттів на основі системи Ti–C, отриманих при конденсації вуглецево-титанових парів з різним ступенем пересичення та співвідношенням компонентів. В роботі наведена математична модель розрахунку хімічного складу з урахуванням радіального розподілу швидкості розпилення речовини та геометричних параметрів розпилювальної системи. Особлива увага приділена опису та отриманню перехідних розвантажувальних шарів на межі поділу ТiC-скло. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3507

Диссертационная работа посвящена изучению общих закономерностей и систематизации информации о структуре, фазовом составе, физико-механических характеристиках покрытий на основе системы Ti–C, полученных при конденсации углеродно-титановых паров с различной степенью пересыщения и соотношением компонентов. Особое внимание уделено описанию и получению переходных разгрузочных слоев на границе раздела ТiC-стекло. При помощи разработанной математической модели, учитывающей геометрические характеристики распылительной системы и радиальное распределение ионного тока вблизи поверхности мишени, проведен расчет химического состава, толщины покрытий системы Ti–C и переходных разгрузочных композитов. Был проведен сопоставительный анализ структур и фазовых составов покрытий системы Ti-C, полученных при низких и высоких пересыщениях конденсируемых паров. Была создана и реализована методика получения высокоэффективных термоэмиссионных слоев на базе системы Ti–C, определены технологические условия эпитаксии TiC и основные электрофизические параметры данных эпитаксиальных слоев на сколах KCl, синтезирована карбидная фаза TiC2 и выявлены условия образования алмазной фазы. С учетом оптимизированных технологических параметров получения слоев исследован физический механизм влияния интенсивности отвода тепловой энергии от ростовой поверхности на физико-механические свойства покрытий системы Ti–C. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3507

The dissertation is devoted to the investigation of conformities and systematization information about structure, phase condition, physical and mechanical characteristics of the titanium-carbon system layers obtained by magnetron sputtering with different deposition parameters. Thin films of different compositions have been studied. The mathematical model for calculations of the chemical composition is developed to account geometrical parameters and radial dependence of sputtering system currant. The methodic of growth distension composite on boundary between TiC and glass is proposed. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3507