Использование трансформаторного плазмотрона для синтеза нанопорошка кремния

Тищенко, И.Ю.; Кузема, П.А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35586

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Использование трансформаторного плазмотрона для синтеза нанопорошка кремния
Authors	Тищенко, И.Ю. Кузема, П.А.
ORCID
Keywords	Трансформаторный плазмотрон Нанопорошок кремния Спектр ИК диффузионного отражения
Type	Article
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35586
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	Тищенко, И. Ю. Использование трансформаторного плазмотрона для синтеза нанопорошка кремния [Текст] / И. Ю. Тищенко, П. А. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т.5, №4, Ч.ІІ. - 04074.
Abstract	В работе описывается процесс синтеза наноразмерного кремния. Приведены результаты термодинамического расчета процессов, имеющих место при предложенных процессах. Описывается суть и методика проведения экспериментов и результаты анализа полученного продукта. Итоговый продукт – порошок, содержащий частицы наноразмерного кремния. Цель данной работы исследовать эффективность использования трансформаторной плазмотронной системы для синтеза нанопрошков. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35586
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)