Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации |
Authors |
Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych
Kosminska, Yuliia Oleksandrivna ![]() Perekrestov, Viacheslav Ivanovych |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-2175-9206 |
Keywords |
квазірівноважних конденсація квазиравновесная конденсация quasi-equilibrium condensation |
Type | Article |
Date of Issue | 2010 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627 |
Publisher | Видавництво СумДУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Мокренко, А.А. Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации [Текст] / А.А. Мокренко, Ю.А. Косминская, В.И. Перекрестов // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т.2, №3. — С.40-53. |
Abstract |
У роботі показано, що результат квазірівноважної конденсації в накопичувальній системі плазма-конденсат залежить від стаціонарності технологічного процесу, яка в загальному випадку визначається постійністю пересичення, а також розкидом енергії розпилених атомів. На підставі модельних уявлень з використанням методу Монте-Карло встановлено ефект усереднення енергій розпилених атомів при їх русі в плазмі підвищеного тиску. На основі експериментальних результатів, пов’язаних з отриманням конденсатів алюмінію в умовах близьких до термодинамічної рівноваги, встановлено зменшення дисперсності плівок при підвищенні тиску робочого газу більше 2.4 Па, що підтверджує стаціонарність технологічного процесу.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views

1

1

7766890

1

1

1

221

34351

156463

1

1

1

1

1

22

1

1

2

1

6

1473024

747963

46070885

112499764
Downloads

2

34348

1

1

1

1

4

1

1473025

1

46070885

141
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
144F1DCDd01.pdf | 1.05 MB | Adobe PDF | 47578411 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.