Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации

Мокренко, Александр Анатольевич; Косминская, Юлия Александровна; Перекрестов, Вячеслав Иванович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации
Authors	Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
Keywords	квазірівноважних конденсація квазиравновесная конденсация quasi-equilibrium condensation
Type	Article
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Мокренко, А.А. Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации [Текст] / А.А. Мокренко, Ю.А. Косминская, В.И. Перекрестов // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т.2, №3. — С.40-53.
Abstract	У роботі показано, що результат квазірівноважної конденсації в накопичувальній системі плазма-конденсат залежить від стаціонарності технологічного процесу, яка в загальному випадку визначається постійністю пересичення, а також розкидом енергії розпилених атомів. На підставі модельних уявлень з використанням методу Монте-Карло встановлено ефект усереднення енергій розпилених атомів при їх русі в плазмі підвищеного тиску. На основі експериментальних результатів, пов’язаних з отриманням конденсатів алюмінію в умовах близьких до термодинамічної рівноваги, встановлено зменшення дисперсності плівок при підвищенні тиску робочого газу більше 2.4 Па, що підтверджує стаціонарність технологічного процесу. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)