Застосування віртуальної лабораторної роботи «Вакуумний універсальний пост–5М» при викладанні курсу  «Технологія тонких плівок»

Шумакова, Наталія Іванівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38024

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Застосування віртуальної лабораторної роботи «Вакуумний універсальний пост–5М» при викладанні курсу «Технологія тонких плівок»
Authors	Shumakova, Nataliia Ivanivna
ORCID
Keywords	віртуальна лабораторна робота виртуальная лабораторная работа
Type	Conference Papers
Date of Issue	2014
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38024
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Шумакова, Н.І. Застосування віртуальної лабораторної роботи «Вакуумний універсальний пост–5М» при викладанні курсу «Технологія тонких плівок» [Текс] / Н.І. Шумакова // Електронні засоби та дистанційні технології для навчання протягом життя : тези доповідей X Міжнародної науково-методичної конференції, м. Суми, 13–14 листопада 2014 р. – Суми : Сумський державний університет, 2014. – С. 84-85.
Abstract	Віртуальна лабораторна робота «ВУП – 5М» дає можливість відтворювати процес вакуумної конденсації і термообробки тонких плівок металів та напівпровідників.
Appears in Collections:	Наукові видання (ФПКВ)