Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39083
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением |
Other Titles |
Structural Engineering of Multilayer TiN / CrN System Obtained by the Vacuum Arc Evaporation Структурна інженерія багатошарової системи TiN / CrN, отриманої вакуумно-дуговим випаровуванням |
Authors |
Соболь, О.В.
Андреев, А.А. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Пинчук, Н.В. Мейлехов, А.А. |
ORCID | |
Keywords |
Вакуумно-дуговой метод Давление Потенциал смещения CrN TiN Текстура Субструктура Микродеформация Размер кристаллитов Вакуумно-дуговий метод Тиск Потенціал зсуву CrN TiN Текстура Субструктура Мікродеформація Розмір кристалітів Vacuum-arc method Pressure Bias potential CrN TiN Texture Substructure Microstrain Size of crystallites |
Type | Article |
Date of Issue | 2015 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39083 |
Publisher | Сумский государственный университет |
License | |
Citation | О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01034 (2015) |
Abstract |
Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії та мікроіндентування досліджені фазовий склад, структура, субструктура і твердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів
системи TiN / CrN, отриманих в інтервалі тиску азоту 1·10 – 5 ... 5·10 – 3Торр з подачею постійного та
імпульсного негативного потенціалу зсуву. Встановлено формування двохфазного стану з переважним орієнтуванням зростання кристалітів при високому тиску (1…5)·10 – 3 Торр та подачі негативного
постійного потенціалу зсуву Uпп = – 20 В – вісь текстури [100], при – 230 В – вісь текстури [111]. Ґрунтуючись на дослідженнях субструктурного стану, встановлен зв’язок переходу в надтвердий (до
57 ГПа) стан зі зменшенням мікродеформації та розміру кристалітів у TiN шарах. Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1·10 – 5…5·10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)·10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось тек- стуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состоя- ния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях. By the X-ray diffraction, electron microscopy, and microindentation methods we have investigated the phase composition, structure, substructure and hardness of vacuum arc multilayer coatings of TiN / CrN system obtained in the range of nitrogen pressure of 1·10–5 ... 5·10–3 Torr when applying continuous and pulsed negative bias potential. Formation of two-phase state with a preferred orientation of the crystallite growth was established at high pressure of (1 ... 5)·10–3 Torr and feeding of negative DC bias potential: Ub = – 20 V – texture axis [100], at – 230 V – texture axis [111]. Based on the studies of substructural state, connection of the transition to the superhard (57 GPa) state with decrease in the crystallite size and microstrain in TiN layers was established. |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views
Canada
1
China
11968572
Finland
1
France
3
Germany
5
Greece
1
Hungary
1
Ireland
22025
Italy
1
Japan
31122811
Lithuania
1
Netherlands
1101
Russia
1
Singapore
1
Sweden
1
Thailand
3
Ukraine
15958094
United Kingdom
279145
United States
182535910
Unknown Country
793376
Downloads
Belarus
3
Bulgaria
1
China
242681055
France
2
Germany
22020
India
1
Ireland
1
Japan
1
Portugal
1
Romania
1
Russia
2
Slovakia
1
Ukraine
793378
United Kingdom
22020
United States
62245621
Unknown Country
279148
Uzbekistan
6
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Sobol_Andreev.pdf | 562.88 kB | Adobe PDF | 306043262 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.