Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике

Погребняк, Александр Дмитриевич; Кирік, Григорій Васильович; Кирик, Григорий Васильевич; Kyrik, Hryhorii Vasylovych; Ильяшенко, Максим Викторович; Каверин, Михаил Валерьевич; Каверина, Алиса Шер Ахмад; Шипиленко, Андрей Павлович; Постольный, Богдан Александрович; Рогоз, Владислав Николаевич; Братушка, Сергей Николаевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39451

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике
Authors	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Кирік, Григорій Васильович Кирик, Григорий Васильевич Kyrik, Hryhorii Vasylovych Illiashenko, Maksym Viktorovych Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Kaverina, Alisa Sher Akhmad Shypylenko, Andrii Pavlovych Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych Bratushka, Serhii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-9218-6492 http://orcid.org/0000-0002-1741-2525 http://orcid.org/0000-0003-3162-2972 http://orcid.org/0000-0003-3470-2265
Keywords	нанокомпозитні покриття нанокомпозитные покрытия комбіновані покриття комбинированные покрытия
Type	Technical Report
Date of Issue	2014
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39451
Publisher	СумДУ
License
Citation	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике [Текст] : отчет о НИР (заключительный) / Рук. А.Д. Погребняк. - Сумы : СумГУ, 2014. - 36 с.
Abstract	Основной целью научно-исследовательской работы является установление взаимосвязи технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) с термической стабильностью, механическими и трибологическими свойствами наноструктурных нитридных покрытий (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. Для достижения поставленной цели решались следующие задачи: 1)проанализировать влияние технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) на элементный и фазовый состав нитридных покрытий; 2)изучить термическую стабильность нитридных покрытий при температуре отжига 873 К.
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень