Применение новых тест-объектов для юстировки растрового электронного микроскопа

Abstract

Целью данной работы является исследование тест-объекта для определения разрешающей способности растрового электронного микроскопа за счет формирования его структуры в виде участков ажурной микросетки и сплошной пленки с нанесенными на них равномерно расположенными шарообразными частицами олова, которые отличаются от других тем, что полученная структура имеет размеры от 10 мкм до 2 нм и структурные элементы с высоким контрастом из-за различных эмиссионных свойств применяемых материалов и условий формирования изображения, что позволяет определить разрешающую способность в диапазоне увеличений от 500 до 100000 крат. Наличие шаров также позволяет контролировать правильность построения изображения в направлении строки и кадра, исключает необходимость корректировки масштабных искажений изображения при наклоне образца. Таким образом получаем островковые сферические частицы олова, закрепленных на угольной микросетке с размером ячеек от 0,2 мкм до 10 мкм. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3960