Використання плівкової системи Fe/Cr як чутливого елементу датчика тиску

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4005

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Використання плівкової системи Fe/Cr як чутливого елементу датчика тиску
Authors	Pazukha, Iryna Mykhailivna Сироваткін, М.М.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-9410-3024
Keywords	тонкоплівкові матеріали датчик тиску тонкопленочные материалы датчик давления Thin-film materials pressure
Type	Conference Papers
Date of Issue	2009
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4005
Publisher	Вид-во СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Сироваткін, М.М. Використання плівкової системи Fe/Cr як чутливого елементу датчика тиску [Текст] / М.М. Сироваткін, І.М. Пазуха // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : 21-24 квітня 2009 р. - Суми : СумДУ, 2009. - C. 55.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)