Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків |
Authors |
Коломієць, В.В.
Наконечний, Д.М. Velykodnyi, Dmytro Volodymyrovych ![]() |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0003-0044-5619 |
Keywords |
тонкоплівкові металеві тензодатчики тонкопленочные металлические тензодатчики |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2010 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 |
Publisher | Видавництво СумДУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Коломієць, В.В. Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків [Текст] / В.В. Коломієць, Д.М. Наконечний, Д.В. Великодний // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 96-97. |
Abstract |
Розроблений автоматизований комплекс призначений для
серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом
тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у
вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи
тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною
окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок
застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації
двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість
конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та
контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес
конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який
закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух
електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному
режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views

2

98248198

1

362

129664

1

1760095

1

1

13790

1

23

1

1

6

6961753

3520187

196496390

6961752
Downloads

6

1

363

1

1

1

20857610

1

98248198

71
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
ElIT_2010.pdf | 8.31 MB | Adobe PDF | 119106253 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.