Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків

Коломієць, В.В.; Наконечний, Д.М.; Великодний, Дмитро Володимирович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків
Authors	Коломієць, В.В. Наконечний, Д.М. Velykodnyi, Dmytro Volodymyrovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0044-5619
Keywords	тонкоплівкові металеві тензодатчики тонкопленочные металлические тензодатчики
Type	Conference Papers
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Коломієць, В.В. Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків [Текст] / В.В. Коломієць, Д.М. Наконечний, Д.В. Великодний // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 96-97.
Abstract	Розроблений автоматизований комплекс призначений для серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)