Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu |
Authors |
Kostenko, Maksym Volodymyrovych
Demydenko, Maksym Hennadiiovych |
ORCID | |
Keywords |
багатошарова плівкова структура многослойная пленочная структура multilayer film structure оптичний метод еліпсометрії оптический метод эллипсометрии optical method ellipsometry |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2015 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Костенко, М.В. Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu [Текст] / М.В. Костенко, М.Г. Демиденко; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 120. |
Abstract |
При досліджені фізичних властивостей нанорозмірних багатошарових плівкових структур важливо знати товщини окремих шарів. Зазвичай їх визначають в процесі конденсації методом кварцового резонатора. Після завершення конденсації можна легко визначити загальну товщину плівкової системи, а такий структурний параметр як товщина окремого шару можна визначити руйнівними методами або
неруйнівними методами рентгенівської рефлектометрії або еліпсометрії. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Canada
2
France
2
Germany
4
Greece
2664
India
1
Ireland
18147
Lithuania
1
Russia
1
Turkey
1
Ukraine
225078
United Kingdom
115203
United States
88898
Unknown Country
13
Downloads
China
88898
France
1
Germany
2
India
1
Ireland
1
Japan
1
Lithuania
1
Russia
1
Ukraine
450015
United Kingdom
5328
United States
450015
Unknown Country
6
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Kostenko_optical method ellipsometry.pdf | 259.59 kB | Adobe PDF | 994270 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.